اندازه گيري هاي موقعيت نانومتر– دقيق با تكنيكهاي مرسوم :
براي اندازهگيريهاي ميكرونانو ساختارهاوهمچنين براي كنترلدقيقحركت, تكنيكهاي اندازه گيري با دقت نانومتري مورد نياز هستند.حسگرها اغلب ميكرونانوساختار هستند. يك دقت بهتر از nm100 ميتواند با مجموعه اي